7月9日，由欧美国家 蓬勃发展 集成电路创新防守效率主办的”2022集成电路产业链协同创新蓬勃发展交流会”以六大会场加以以及网络连线的多种通信达渠道同步如期举行。以及网络频道集成电路全产业链各环节的优秀企业自身、高校和科研院所的千余位属于参会，东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海女士受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业技术方面创新奖（简称“IC创新奖”），东方晶源凭借电子束缺陷检测设备（EBI），得到技术方面创新奖。
“IC创新奖”由欧美国家 蓬勃发展 集成电路创新防守效率主办，面向国内外集成电路产业链上下游企事业单位确定征集，重点鼓励集成电路技术方面创新、成果产业化、产业链上下游通信达合作关系，是集成电路产业最组成部分的技术方面奖项成了，共有 技术方面创新奖项旨在表彰在集成电路重大技术方面创新和组成部分技术方面开发其它方面胜利重大突破的单位确定和核心团队。此番摘得细分行业重磅赛事的组成部分奖项，再再度彰显出东方晶源在电子束检测、量测相关领域的技术方面综合实力和细分行业的真实高度认可。
检测是芯片制造厂商得到大幅提升良率的组成部分不同方式。电子束检测设备有着超高精度，在高端芯片制造积累过程发挥的作用很大愈发大。目前已，该类设备被国内外厂商垄断，成了制约欧美国家 芯片制造自主可控的组成部分瓶颈。东方晶源数年磨剑，顺利研声音国内外首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505，可提供完整完整的纳米级缺陷检测和深度分析难题方案。目前已已展开欧美国家 头部芯片制造厂商产线验证，验证最后表明再就 指标通信达与国内外一线对标机台可以达到同等水平提升，顺利难题欧美国家 在电子束检测相关领域的组成部分技术方面难题。
东方晶源在电子束检测、量测相关领域已深耕多年通信达并顺利新推出多款设备，胜利重大突破。除此番获奖的电子束缺陷检测设备EBI外，旗下首台12英寸组成部分尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于上半年6月提前进入产线验证，目前已无法完成 成熟制程量产验证，图像质量清晰，与POR 的CD差异各种各种潜在需求相关要求，性能再再度改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于上半年3月提前进入产线验证，目前已始终提前进入最终客户产线小规模试产。共有 ，东方晶源还于上周发布最新了电子束缺陷复检设备（DR-SEM），目前已该设备工程机（Alpha机）始终展开首轮wafer demo，也可以以各种各种潜在需求28nm及可以达到有制程各种潜在需求，Beta机集成其他工作加速推进中，已胜利最终客户订单，提前进入产线验证指日可待。
成了另一家聚焦集成电路良率管理相关领域，以得到大幅提升芯片制造门槛为使命的半导体企业自身，东方晶源始终以研发创新为蓬勃发展核心，仍会仍会持续丰富其他产品矩阵并得到大幅提升其他产品性能，填补多项国内外空白。未来发展，东方晶源将再再度立足一体化该软件平台支持和检测装备两大相关领域，以最终客户为两个中心，以市场进入 为导向，仍会仍会持续展开技术方面突破与其他产品创新，与欧美国家 集成电路产业上下游企业自身勠力同心，推动欧美国家 集成电路制造产业再再度高速蓬勃发展。